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Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

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Book Series: Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Materialien, Karlsruher Institut für Technologie ISSN: 21929963 ISBN: 9783731500261 Year: Volume: 24 Pages: XIII, 175 p. DOI: 10.5445/KSP/1000034771 Language: GERMAN
Publisher: KIT Scientific Publishing
Subject: Technology (General)
Added to DOAB on : 2019-07-30 20:01:59
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Abstract

Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. Über LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugprüfkörper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilität gegen plastische Verformung.

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Publisher

KIT Scientific Publishing (1)


License

CC by-nc-nd (1)


Language

german (1)


Year
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2013 (1)